2021年3月3-4日我公司参与的国家重点研发计划项目“大规格稀有/稀贵金属靶材制造技术”课题绩效评价会议在北京成功召开,项目课题顺利通过专家评审。
会议根据《国家重点研发计划项目综合绩效评价工作规范》及科学技术部高技术研究发展中心有关规定对项目下设四个课题进行绩效评价工作,讨论形成各课题评价专家意见。参会单位包括有研亿金新材料有限公司、沈阳k8凯发(中国)天生赢家·一触即发加工有限公司、东北大学、贵研铂业股份有限公司、中南大学、北京工业大学、中国科学院金属研究所、北京科技大学、西北工业大学、国标(北京)检验认证有限公司共10家产学研单位。参会人员包括项目责任专家、科技部高技术研究发展中心领导、项目负责人、各课题负责人、项目骨干、科研管理员等项目相关人员40余人。
会议由项目负责人有研亿金董事长王兴权教授致欢迎辞并介绍了项目整体情况,科技部高技术研究发展中心领导、项目责任专家分别讲话,会上成立了课题绩效评价专家组,各课题负责人分别进行了课题绩效自评价汇报,评审专家提问并打分,最终由专家组长张龙教授宣读了课题自评价打分结果及意见。各课题完成了课题任务书中要求的课题目标和考核指标,取得了重要成果,完成了成果应用示范推广,并建成产业化示范线,一体化组织实施及管理运行情况良好,人才培养、资金使用情况满足要求,项目课题考核合格。项目责任专家秦高梧、孙宝德教授充分肯定了项目取得的成果,对项目各课题中存在的问题进行了点评和指导,并预祝接下来的项目总体验收取得圆满成功。
本项目的实施对我国高端半导体新兴产业快速发展起到了重要的战略意义,对国产高品质、大规格稀有稀贵金属溅射靶材发展起到了重要推动作用,项目通过研究超高纯稀有稀贵金属制备及强塑性变形过程组织与缺陷形成机理、演变规律及细晶化调控原理、铁磁性金属多因子条件下磁性能协调机理、异质金属大面积焊接界面行为与微观应力调控机理、稀有稀贵金属制备加工工艺-基体组织一结构-缺陷-性能之间的内在关系及控制基础理论等科学问题,突破稀有稀贵金属靶材“大规格、高纯化、细晶化、均质化、高精度、高可靠”等制备过程中11项关键技术,最终形成具有指导意义稀有稀贵金属靶材微观组织异质界面-综合性能的协同调控理论,开发出7种达到国际先进水平的典型大规格超高纯稀有稀贵金属铁磁性靶材、铂族单质金属靶材、铜旋转靶材及其制备技术,并建成产业化示范线,填补我国技术和产品空白。项目成果在满足我国深纳米半导体芯片、新型磁记录元器件、高代线TFT平面显示器制造的迫切需求和产生巨大经济效益的同时,使传统稀有稀贵金属产业向环境友好型高科技领域拓展,提升我国半导体产业整体竞争力,实现我国高端半导体用新材料产业技术水平由跟跑向并行转变,摆脱国家安全战略领域对国外产品的依赖。
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